通過大量的實踐證明，同一臺SF6電氣設備，在不同溫度下測量設備內的氣體濕度，其結果不同。在溫度高時，會釋放滲透在材料內部的水分，使氣體中的水汽隨溫度的升高而增大。在溫度降低時，氣體中的水汽又凝聚在外殼及絕緣材料表面，使氣體中的水汽含量減少。環境溫度高時，測量濕度高；環境溫度低時，測量濕度低。隨著電力行業的迅猛發展，電力行業大量設備的投入，尤其是SF6電器設備的不斷增加，對SF6氣體抽真空充氣裝置的安裝調試以及檢修維護的要求越來越高。系統中真空泵的進口處裝有電磁真空帶充氣閥，并與真空泵接在同一個電源上，當泵停止工作時，閥能自動將真空系統封閉，并將大氣通過泵的進口充入泵腔，從而避免泵油逆流污染真空系統。

 

抽真空系統采用雙級旋片式真空泵，在系統中設有自動防止返回SF6氣體抽真空充氣裝置，凈化系統采用原理過濾器，過濾器采用電加熱及內裝吸附劑，凈化效果更顯著。SF6氣體抽真空充氣裝置的控制系統采用技術的SF6閥門。抽真空充氣*高、能耗少電源設有相序自動換相系統，高精度熱偶真空計，簡潔實用。目前有單位使用的化學比色管法檢測分解產物，但因其靈敏度低，只能作定性或半定量的檢測，其較適合事故后故障部位的查找，難以檢測設備早期的故障。SF6氣體抽真空充氣裝置控制系統采用技術的SF6閥門，方便現場使用，便于移動，不傷害地面。而且試驗電壓低、電流小，難以檢出設備的早期隱患；規程中的化學法有純度、濕度和檢漏項目,這些方法只能評價安裝維護工藝，與內部故障無直接關系。